Технология оксидных сегнетоэлектрических пленок для сверхвысокочастотных применений: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Тумаркин Андрей Вилевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2//205845(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Тумаркин, А. В. (род. 1972)
Опубликовано: Санкт-Петербург , 2016
Физические характеристики: 34 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001324843
005 20161207121749.0
100 # # $a 20161012d2016 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Технология оксидных сегнетоэлектрических пленок для сверхвысокочастотных применений  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук  $e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники  $f Тумаркин Андрей Вилевич  $g [Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина)] 
210 # # $a Санкт-Петербург  $d 2016 
215 # # $a 34 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 32—34 (35 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2125662  $a СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2125682  $a СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar17342  $a ЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar8280944  $a СЕГНЕТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23812  $a ПЛЕНОЧНЫЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2722583  $a ОКИСНЫЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33920  $a ТЕХНОЛОГИЯ МАТЕРИАЛОВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1610018  $a ПЛЕНОЧНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35865  $a ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2764600  $a СВОЙСТВА МАТЕРИАЛОВ  $2 DVNLB 
686 # # $a 47.09.33  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 61.31.51  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 61.13.21  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.16  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.06  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar11515150  $a Тумаркин  $b А. В.  $g Андрей Вилевич  $c доктор технических наук  $f род. 1972 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20161012  $g psbo