Диагностика приборных структур на основе кремниевых и углеродных слоев методом спектроскопии комбинационного рассеяния света: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Левицкий Владимир Сергеевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2//205571(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Левицкий, В. С.
Опубликовано: Санкт-Петербург , 2016
Физические характеристики: 18 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001322813
005 20161220095505.0
100 # # $a 20161005d2016 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Диагностика приборных структур на основе кремниевых и углеродных слоев методом спектроскопии комбинационного рассеяния света  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах  $f Левицкий Владимир Сергеевич  $g [Санкт-Петербургский государственный университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина)] 
210 # # $a Санкт-Петербург  $d 2016 
215 # # $a 18 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 17—18 
606 0 # $3 BY-NLB-ar17342  $a ЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24588  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35013  $a УГЛЕРОД  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1800903  $a СТРУКТУРА МАТЕРИАЛОВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar55517  $a ИССЛЕДОВАНИЙ МЕТОДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2905085  $a СПЕКТРОСКОПИЯ КОМБИНАЦИОННОГО РАССЕЯНИЯ  $2 DVNLB 
686 # # $a 47.09.29  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.01.81  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.31.26  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.01  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-284104  $a Левицкий  $b В. С.  $g Владимир Сергеевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20161005  $g psbo