Технологические основы и методики послойного травления кристаллов интегральных схем с системой межсоединений на основе меди: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Милованов Роман Александрович

Сохранено в:
Шифр документа: 2//199851(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Милованов, Р. А.
Опубликовано: Москва , 2016
Физические характеристики: 22 с. : ил., табл.
Язык: Русский
Предмет:

ОФХ отдела книгохранения

Всего : 1 , доступно: 1 Доступно  Заказать

Информация об экземплярах

Шифр Фонд Место нахождения Статус экземпляра Читальный зал
2//199851(039) ОФХ отдела книгохранения (039) 11:4:3:93 СВОБОДЕН Рекомендованный ЧитЗал