|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001270812 |
| 005 |
20160531091712.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20160301d2016 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Технологические основы и методики послойного травления кристаллов интегральных схем с системой межсоединений на основе меди
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$f Милованов Роман Александрович
$g [Учебно-научное объединение "Электроника" федерального государственного бюджетного образовательного учреждения высшего образования "Московский технологический университет" (МИРЭА)]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2016
|
| 215 |
# |
# |
$a 22 с.
$c ил., табл.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 21—22 (12 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18370
$a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11906
$a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15206
$a КРИСТАЛЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar17608
$a МЕДЬ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar10631450
$a МЕЖСОЕДИНЕНИЯ (электротехн.)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33902
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ
$2 DVNLB
|
| 610 |
0 |
# |
$a послойное травление
|
| 610 |
0 |
# |
$a паслойнае траўленне
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09
$v 6
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar10643396
$a Милованов
$b Р. А.
$g Роман Александрович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20160301
$g psbo
|
