Исследование плазмохимического синтеза тонких алмазных пленок в плазме, поддерживаемой пересекающимися пучками непрерывного СВЧ излучения миллиметрового диапазона длин волн: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 01.04.08 Физика плазмы / Чернов Валерий Валерьевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2//199201(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Чернов, В. В.
Опубликовано: Нижний Новгород , 2016
Физические характеристики: 22 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001264278
005 20160419150133.0
100 # # $a 20160208d2016 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Исследование плазмохимического синтеза тонких алмазных пленок в плазме, поддерживаемой пересекающимися пучками непрерывного СВЧ излучения миллиметрового диапазона длин волн  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e специальность 01.04.08 Физика плазмы  $f Чернов Валерий Валерьевич  $g [Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики РАН] 
210 # # $a Нижний Новгород  $d 2016 
215 # # $a 22 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 19—21 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35847  $a ФИЗИКА ПЛАЗМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1607655  $a ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar64787  $a АЛМАЗНЫЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1715174  $a СВЧ ПЛАЗМА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3133807  $a СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНЫЕ РАЗРЯДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6723668  $a ВОЛНОВЫЕ ПУЧКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6756  $a ГАЗОВЫЕ СМЕСИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3363348  $a НАНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
686 # # $a 29.27.43  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.27.51  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.16  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.22  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 31.15.30  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 01.04.08  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar10379698  $a Чернов  $b В. В.  $g Валерий Валерьевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20160208  $g psbo