Методы получения тонких пленок: практическое пособие по курсу "Материалы электронной техники" для студентов физического факультета / В. А. Гольдаде, Н. Н. Федосенко

Сохранено в:
Шифр документа: 1Н//539733(039), 1Н//545748(039),
Вид документа: Книги
Автор: Гольдаде, В. А. (род. 1947)
Опубликовано: Гомель : ГГУ , 2015
Физические характеристики: 41 с. : ил. ; 21 см
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ib4500
001 BY-NLB-br0001253833
005 20160129094949.0
010 # # $a 978-985-577-070-2 
100 # # $a 20151223d2015 f y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a j 000yy 
109 # # $a ga 
200 1 # $a Методы получения тонких пленок  $e практическое пособие по курсу "Материалы электронной техники" для студентов физического факультета  $f В. А. Гольдаде, Н. Н. Федосенко  $g Министерство образования Республики Беларусь, Учреждение образования "Гомельский государственный университет им. Ф. Скорины" 
210 # # $a Гомель  $c ГГУ  $d 2015 
215 # # $a 41 с.  $c ил.  $d 21 см 
320 # # $a Библиография: с. 41 (12 назв.) 
345 # # $9 50 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34171  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4914454  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ПОКРЫТИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar19558  $a НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar5171280  $a ВАКУУМНОЕ НАПЫЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar27459  $a РАСПЫЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6492365  $a КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12168  $a ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar5236579  $a ИОННО-ЛУЧЕВОЕ ОСАЖДЕНИЕ  $2 DVNLB 
608 # # $3 BY-NLB-ar2281534  $a ПРАКТИКУМ ДЛЯ ВУЗОВ  $2 BYGNR 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 539.23(076.5)(075.8)  $v 4  $z rus 
675 # # $a 621.793.1(076.5)(075.8)  $v 4  $z rus 
675 # # $a 621.793.7(076.5)(075.8)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 29.01.33  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 29.19.16  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 55.22.01  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 55.20.15  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 55.01.33  $2 rugasnti  $v 6 
700 # 1 $3 BY-SEK-195572  $a Гольдаде  $b В. А.  $g Виктор Антонович  $c доктор технических наук  $f род. 1947 
701 # 1 $3 BY-SEK-1009578  $a Федосенко  $b Н. Н.  $g Николай Николаевич  $c кандидат технических наук 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar170090  $a Гомельский государственный университет имени Ф. Скорины  $4 475 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20151223  $g psbo