Разработка и исследование технологических основ формирования ориентированных массивов углеродных нанотрубок для чувствительных элементов газовых сенсоров: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Ильин Олег Игоревич

Сохранено в:
Шифр документа: 2//196191(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Ильин, О. И.
Опубликовано: Таганрог , 2015
Физические характеристики: 22 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001239452
005 20160429135934.0
100 # # $a 20151112d2015 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Разработка и исследование технологических основ формирования ориентированных массивов углеродных нанотрубок для чувствительных элементов газовых сенсоров  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах  $f Ильин Олег Игоревич  $g [Южный федеральный университет] 
210 # # $a Таганрог  $d 2015 
215 # # $a 22 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 19—22 (24 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2375793  $a УГЛЕРОДНЫЕ НАНОТРУБКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2496476  $a ГАЗОВЫЕ СЕНСОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar45117  $a НАНОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18296  $a МИКРОСИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1607655  $a ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar13050  $a КАТАЛИЗАТОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35865  $a ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar67566  $a НАНОТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
686 # # $a 05.27.01  $2 oksvnk 
686 # # $a 29.19.22  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 81.13.30  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 61.31.40  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 61.31.59  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 61.13.21  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-NLB-ar10262210  $a Ильин  $b О. И.  $g Олег Игоревич  $c электроника 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20151112  $g psbo