|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001238892 |
| 005 |
20160226083216.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20151111d2015 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Моделирование процесса формирования объектов в иммерсионной ультрафиолетовой литографии
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.13.12 Системы автоматизации проектирования (приборостроение)
$f Костомаров Павел Сергеевич
$g [Национальный исследовательский университет "Высшая школа экономики"]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2015
|
| 215 |
# |
# |
$a 23 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 21—23 (20 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1657703
$a ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11906
$a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2408340
$a МИКРОЛИТОГРАФИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18658
$a МОДЕЛИРОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 610 |
0 |
# |
$a иммерсионная ультрафиолетовая литография
|
| 610 |
0 |
# |
$a імерсійная ўльтрафіялетавая літаграфія
|
| 610 |
0 |
# |
$a литографические процессы
|
| 610 |
0 |
# |
$a літаграфічныя працэссы
|
| 610 |
0 |
# |
$a литографическое оборудование
|
| 610 |
0 |
# |
$a літаграфічнае абсталяванне
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.13.12
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.01.77
$2 rugasnti
$v 6
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar9703786
$a Костомаров
$b П. С.
$g Павел Сергеевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20151111
$g psbo
|
