Влияние неоднородности фазового состава диэлектрической подложки на процесс лазерного осаждения меди из раствора: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Тумкин Илья Игоревич

Сохранено в:
Шифр документа: 2//193596(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Тумкин, И. И.
Опубликовано: Санкт-Петербург , 2015
Физические характеристики: 23 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001216698
005 20230615103432.0
100 # # $a 20150826d2015 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Влияние неоднородности фазового состава диэлектрической подложки на процесс лазерного осаждения меди из раствора  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук  $e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники  $f Тумкин Илья Игоревич  $g [Институт химии, Санкт-Петербургский государственный университет ] 
210 # # $a Санкт-Петербург  $d 2015 
215 # # $a 23 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 21—23 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24113  $a ПОДЛОЖКИ (электроника)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar9579  $a ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar19558  $a НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar17968  $a МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar17608  $a МЕДЬ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar22114  $a ОСАЖДЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3351361  $a ЛАЗЕРНО-ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar14472967  $a ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПОДЛОЖКИ  $2 DVNLB 
610 0 # $a лазерно-индуцированное осаждение металлов из растворов 
610 0 # $a лазерна-індуцыраванае асаджэнне металаў з раствораў 
686 # # $a 47.13.35  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.22.19  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.20.99  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.06  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar9372887  $a Тумкин  $g Илья Игоревич  $b И. И. 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20150826  $g RCR