Системы проекционного переноса широкоформатных изображений в технологии сборки СБИС методом перевернутого кристалла: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов, приборов электронной техники / Агейченко Александр Степанович

Сохранено в:
Шифр документа: 26Н//5088(039),
Вид документа: Диссертации
Автор: Агейченко, A. С.
Опубликовано: Минск , 2014
Физические характеристики: 142 л. : ил., табл.
Язык: Русский
Предмет:
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
СБОРОЧНО-МОНТАЖНЫЕ РАБОТЫ
ФОТОЛИТОГРАФИЯ
ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
Е-документ: E-документ
00000cbm0a2200000 id4500
001 BY-NLB-br0001203142
005 20220412162141.0
100 # # $a 20150616h20142015k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ab  $a aa 
200 1 # $a Системы проекционного переноса широкоформатных изображений в технологии сборки СБИС методом перевернутого кристалла  $e диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов, приборов электронной техники  $f Агейченко Александр Степанович  $g научный руководитель Матюшков В. Е.  $g Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники" 
210 # # $a Минск  $d 2014 
215 # # $a 142 л.  $c ил., табл. 
320 # # $a Библиография: л. 92—103 
328 # 0 $d Защищена 22.01.2015, утверждена 28.04.2015 
333 # # $a Электронная копия размещена с разрешения автора 
488 # 0 $1 001BY-RLST-kn-495359 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2121092  $a СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar29176  $a СБОРОЧНО-МОНТАЖНЫЕ РАБОТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar85256  $a ФОТОЛИТОГРАФИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33890  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.77-027.3:621.717(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 47.13.11  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.15  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.18.01  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.06  $2 nsnrrb 
700 # 1 $3 BY-RLST-ar539802  $a Агейченко  $b A. С.  $g Александр Степанович  $c кандидат технических наук, электроника 
702 # 1 $3 BY-SEK-346198  $a Матюшков  $b В. Е.  $g Владимир Егорович  $c доктор технических наук  $c кандидат физико-математических наук  $c государственный деятель  $f род. 1946  $4 727 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar186905  $a Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники  $c Минск  $4 995  $4 595 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0001  $c 20141220  $g psbo 
856 4 # $u http://dep.nlb.by/jspui/bitstream/nlb/49922/2/default.htm 

Схожие документы