Разработка технологии формирования кремниевых пьезорезистивных чувствительных элементов микромеханических акселерометров: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.11.14 Технология приборостроения / Пауткин Валерий Евгеньевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Пауткин, В. Е. |
| Опубликовано: | Пенза , 2014 |
| Физические характеристики: |
21, [1] с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||