|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001165059 |
| 005 |
20150423140001.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20150122d2014 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a y m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Разработка технологии формирования кремниевых пьезорезистивных чувствительных элементов микромеханических акселерометров
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.11.14 Технология приборостроения
$f Пауткин Валерий Евгеньевич
$g [Пензенский государственный университет]
|
| 210 |
# |
# |
$a Пенза
$d 2014
|
| 215 |
# |
# |
$a 21, [1] с.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 19—22 (28 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar25418
$a ПРИБОРОСТРОЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4745495
$a МИКРОМЕХАНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1913019
$a МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЕ АКСЕЛЕРОМЕТРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar52080
$a КРЕМНИЕВЫЕ ДАТЧИКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2420611
$a ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar6540
$a ВЫСОКИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 610 |
0 |
# |
$a пьезорезистивные датчик
|
| 610 |
0 |
# |
$a п'езарэзістыўныя датчыкі
|
| 686 |
# |
# |
$a 59.31.31
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 59.31.71
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 59.03.09
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.11.14
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar8418717
$a Пауткин
$b В. Е.
$g Валерий Евгеньевич
$c кандидат технических наук
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20150122
$g psbo
|
