Разработка технологии формирования кремниевых пьезорезистивных чувствительных элементов микромеханических акселерометров: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.11.14 Технология приборостроения / Пауткин Валерий Евгеньевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2//186232(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Пауткин, В. Е.
Опубликовано: Пенза , 2014
Физические характеристики: 21, [1] с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001165059
005 20150423140001.0
100 # # $a 20150122d2014 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a y m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Разработка технологии формирования кремниевых пьезорезистивных чувствительных элементов микромеханических акселерометров  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.11.14 Технология приборостроения  $f Пауткин Валерий Евгеньевич  $g [Пензенский государственный университет] 
210 # # $a Пенза  $d 2014 
215 # # $a 21, [1] с. 
320 # # $a Библиография: с. 19—22 (28 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar25418  $a ПРИБОРОСТРОЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4745495  $a МИКРОМЕХАНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1913019  $a МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЕ АКСЕЛЕРОМЕТРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar52080  $a КРЕМНИЕВЫЕ ДАТЧИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2420611  $a ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6540  $a ВЫСОКИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ  $2 DVNLB 
610 0 # $a пьезорезистивные датчик 
610 0 # $a п'езарэзістыўныя датчыкі 
686 # # $a 59.31.31  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 59.31.71  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 59.03.09  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 05.11.14  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar8418717  $a Пауткин  $b В. Е.  $g Валерий Евгеньевич  $c кандидат технических наук 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20150122  $g psbo