Разработка методов синтеза графеновых структур для создания самосовмещенных элементов микро- и наноэлектроники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Кондрашов Владислав Андреевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2//185220(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Кондрашов, В. А.
Опубликовано: Москва , 2014
Физические характеристики: 21 с. : ил., табл.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001158331
005 20150401131552.0
100 # # $a 20141217d2014 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Разработка методов синтеза графеновых структур для создания самосовмещенных элементов микро- и наноэлектроники  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах  $f Кондрашов Владислав Андреевич  $g [Научно-образовательный центр "Зондовая микроскопия наноэлектроника" Национального исследовательского университета "МИЭТ"] 
210 # # $a Москва  $d 2014 
215 # # $a 21 с.  $c ил., табл. 
320 # # $a Библиография: с. 20—21 
606 0 # $3 BY-NLB-ar27159  $a РАДИОЭЛЕКТРОННАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18370  $a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar45117  $a НАНОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39120  $a ЭЛЕКТРОННЫЕ ПРИБОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39132  $a ЭЛЕКТРОННЫЕ КОМПОНЕНТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4412344  $a ПЛЕНОЧНЫЕ ПОКРЫТИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2437307  $a ГРАФЕН  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar19558  $a НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1610018  $a ПЛЕНОЧНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2644768  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ  $2 DVNLB 
686 # # $a 47.09.29  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 47.13  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 05.27.01  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar8313806  $a Кондрашов  $b В. А.  $g Владислав Андреевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20141217  $g psbo