|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001154416 |
| 005 |
20150227140340.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20141204d2014 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Особенности структуры тонких пленок SiC, формируемых методом импульсного лазерного осаждения на подложках Si и Al2O3
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
$e специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния
$f Рындя Сергей Михайлович
$g [Научно-исследовательский физико-химический институт им. Л. Я. Карпова]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2014
|
| 215 |
# |
# |
$a 24 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 21—24
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34161
$a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2187791
$a КАРБИД КРЕМНИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4914454
$a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ПОКРЫТИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar19558
$a НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar5289803
$a ИМПУЛЬСНОЕ ЛАЗЕРНОЕ ОСАЖДЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2685016
$a КРЕМНИЕВЫЕ ПОДЛОЖКИ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 55.22.23
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 55.20.15
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.16
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 01.04.07
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar8249545
$a Рындя
$b С. М.
$g Сергей Михайлович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20141204
$g psbo
|
