Локальный отжиг излучением фемтосекундного лазера ближнего инфракрасного диапазона и нелинейно-оптическая диагностика микроструктур цирконата-титаната свинца на платинизированной подложке: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Фирсова Наталья Юрьевна

Сохранено в:
Шифр документа: 2//184029(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Фирсова, Н. Ю.
Опубликовано: Москва , 2014
Физические характеристики: 26 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001154051
005 20150219100627.0
100 # # $a 20141203d2014 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Локальный отжиг излучением фемтосекундного лазера ближнего инфракрасного диапазона и нелинейно-оптическая диагностика микроструктур цирконата-титаната свинца на платинизированной подложке  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники  $f Фирсова Наталья Юрьевна  $g [Московский государственный технический университет радиотехники, электроники и автоматики] 
210 # # $a Москва  $d 2014 
215 # # $a 26 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 25—26 
606 0 # $3 BY-NLB-ar17342  $a ЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar8280944  $a СЕГНЕТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34175  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34171  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar5290502  $a ЛАЗЕРНЫЙ ОТЖИГ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3366357  $a ФЕМТОСЕКУНДНЫЕ ЛАЗЕРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18306  $a МИКРОСТРУКТУРЫ (физ.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33782  $a ТЕХНИЧЕСКАЯ ДИАГНОСТИКА  $2 DVNLB 
686 # # $a 47.09.33  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 47.13.35  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 47.13.81  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 05.27.06  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar8244006  $a Фирсова  $b Н. Ю.  $g Наталья Юрьевна 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20141203  $g psbo