|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001114820 |
| 005 |
20140918155035.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20140822d2014 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Исследование и разработка методов формирования устройств наноэлектроники с примененением технологии наноимпринт-литографии
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
$f Зайцев Алексей Александрович
$g [Национальный исследовательский университет «МИЭТ»]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2014
|
| 215 |
# |
# |
$a 22 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 20—22 (13 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar45117
$a НАНОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39112
$a ЭЛЕКТРОННЫЕ УСТРОЙСТВА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1735600
$a СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНЫЕ ТРАНЗИСТОРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33870
$a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar67566
$a НАНОТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2408340
$a МИКРОЛИТОГРАФИЯ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.07
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-672303
$a Зайцев
$b А. А.
$g Алексей Александрович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20140822
$g psbo
|
