Исследование и разработка процесса формирования пленок поликристаллического кремния с полусферическими зернами для конденсатора с повышенной емкостью: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Новак Андрей Викторович

Gespeichert in:
Шифр документа: 2//175868(039),
Format: Авторефераты диссертаций
1. Verfasser: Новак, А. В.
Veröffentlicht: Москва , 2014
Beschreibung: 28 с. : ил.
Sprache: Русский
Schlagworte:

ОФХ отдела книгохранения

Всего : 1 , доступно: 1 Verfügbar  Bestellen

Информация об экземплярах

Шифр Фонд Место нахождения Статус экземпляра Читальный зал
2//175868(039) ОФХ отдела книгохранения (039) 11:4:3:92 СВОБОДЕН Рекомендованный ЧитЗал