|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001114703 |
| 005 |
20200310135356.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20140822d2014 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Исследование и разработка процесса формирования пленок поликристаллического кремния с полусферическими зернами для конденсатора с повышенной емкостью
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
$f Новак Андрей Викторович
$g [Национальный исследовательский университет "МИЭТ"]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2014
|
| 215 |
# |
# |
$a 28 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 27—28 (14 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4410024
$a ПЛЕНОЧНЫЕ КОНДЕНСАТОРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34161
$a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3171698
$a ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34171
$a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 45.35.29
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.16
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar7903225
$a Новак
$b А. В.
$g Андрей Викторович
$c кандидат технических наук
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20140822
$g psbo
|
