Особенности формирования микро- и нанорельефа поверхности монокристаллического кремния при химическом растворении: диссертация на соискание ученой степени кандидата химических наук: специальность 02.00.04 Физическая химия / Усенко Александра Евгеньевна

Сохранено в:
Шифр документа: 26Н//4669(039),
Вид документа: Диссертации
Автор: Усенко, А. Е. (род. 1982)
Опубликовано: Минск , 2013
Физические характеристики: 154, [1] л. : ил., табл.
Язык: Русский
Предмет:
Е-документ: E-документ
00000cbm0a2200000 id4500
001 BY-NLB-br0001102281
005 20140818133915.0
100 # # $a 20140723h20132014k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ab  $a aa 
200 1 # $a Особенности формирования микро- и нанорельефа поверхности монокристаллического кремния при химическом растворении  $e диссертация на соискание ученой степени кандидата химических наук  $e специальность 02.00.04 Физическая химия  $f Усенко Александра Евгеньевна  $g научный руководитель Юхневич Анатолий Викторович  $g Белорусский государственный университет, Учреждение Белорусского государственного университета, "Научно-исследовательский институт физико-химических проблем" 
210 # # $a Минск  $d 2013 
215 # # $a 154, [1] л.  $c ил., табл. 
320 # # $a Библиография: л. 131—149 
328 # 0 $d Защищена 21.01.2014, утверждена 14.05.2014 
488 # 0 $1 001BY-RLST-kn-430839 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35921  $a ФИЗИЧЕСКАЯ ХИМИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3341921  $a МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1587630  $a РЕЛЬЕФ ПОВЕРХНОСТИ (техн.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2079095  $a МИКРОРЕЛЬЕФ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4761179  $a НАНОШЕРОХОВАТОСТЬ ПОВЕРХНОСТИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar36833  $a ХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4791765  $a ФТОРИСТОВОДОРОДНАЯ КИСЛОТА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6849327  $a ГИДРОКСИД КАЛИЯ   $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24610  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ КРИСТАЛЛЫ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 546.28:544.227.032.72/.73(043.3)  $v 4  $z rus 
675 # # $a 537.311.322:539.211(043.3)  $v 4  $z rus 
675 # # $a 621.315.592:546.28:621.794.4(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 31.15.19  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 31.15.31  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 29.19.31  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 29.19.16  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 47.09.29  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 47.13.11  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 02.00.04  $2 nsnrrb 
700 # 1 $3 BY-RLST-ar598722  $a Усенко  $b А. Е.  $g Александра Евгеньевна  $c кандидат химических наук  $f род. 1982 
702 # 1 $3 BY-SEK-195191  $a Юхневич  $b А. В.  $g Анатолий Викторович  $c кандидат физико-математических наук  $f род. 1936  $4 727 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar167094  $a Белорусский государственный университет  $c Минск  $4 995  $4 595 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar80910  $a Научно-исследовательский институт физико-химических проблем  $c Минск  $4 595 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0001  $c 20140104  $g psbo 
856 4 # $u http://dep.nlb.by/jspui/bitstream/nlb/43772/2/default.htm