|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001080688 |
| 005 |
20140722154058.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20140604d2014 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Развитие метода эллипсометрии для исследования наноразмерных пленок диэлектриков, полупроводников и металлов
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук
$e специальность 01.04.01 Приборы и методы экспериментальной физики
$f Свиташева Светлана Николаевна
$g [Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук]
|
| 210 |
# |
# |
$a Новосибирск
$d 2014
|
| 215 |
# |
# |
$a 32 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 28—32
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar38718
$a ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ФИЗИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar9575
$a ДИЭЛЕКТРИКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24594
$a ПОЛУПРОВОДНИКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18028
$a МЕТАЛЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2862840
$a НАНОПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar60422
$a ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar38082
$a ШЕРОХОВАТОСТЬ ПОВЕРХНОСТИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar88186
$a ГРАНИЦЫ РАЗДЕЛА
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 01.04.01
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.03.31
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.16
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.22
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 59.45.37
$2 rugasnti
$v 6
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-808866
$a Свиташева
$b С. Н.
$g Светлана Николаевна
$c кандидат физико-математических наук, физик
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20140604
$g psbo
|
