Технология изготовления интегральных микросхем. Лабораторный практикум: пособие для специальностей 1-41 01 02 "Микро- и наноэлектронные технологии и системы" и 1-41 01 03 "Квантовые информационные системы" / А. Г. Черных, Б. С. Колосницын

Сохранено в:
Шифр документа: 1Н//454519(039), 1Н//454521(039), ##1Н//301066(055),
Вид документа: Книги
Автор: Черных, А. Г. (род. 1941)
Опубликовано: Минск : БГУИР , 2014
Физические характеристики: 47, [1] с. : ил. ; 20 см
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ib4500
001 BY-NLB-br0001065763
005 20220412152123.0
010 # # $a 978-985-543-002-6 
100 # # $a 20140515d2014 f y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a j 000yy 
109 # # $a ga 
200 1 # $a Технология изготовления интегральных микросхем. Лабораторный практикум  $e пособие для специальностей 1-41 01 02 "Микро- и наноэлектронные технологии и системы" и 1-41 01 03 "Квантовые информационные системы"  $f А. Г. Черных, Б. С. Колосницын  $g Министерство образования Республики Беларусь, Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники", Кафедра микро- и наноэлектроники 
210 # # $a Минск  $c БГУИР  $d 2014 
215 # # $a 47, [1] с.  $c ил.  $d 20 см 
320 # # $a Библиография в конце книги (9 назв.) 
345 # # $9 100 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar64055  $a МОП-СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar65279  $a КОНТРОЛЬ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ  $2 DVNLB 
608 # # $3 BY-NLB-ar2274507  $a ЛАБОРАТОРНАЯ РАБОТА  $2 BYGNR 
608 # # $3 BY-NLB-ar2281534  $a ПРАКТИКУМ ДЛЯ ВУЗОВ  $2 BYGNR 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.77-027.3(076.5)(075.8)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 47.33  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.11  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.01.33  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-190918  $a Черных  $b А. Г.  $g Александр Георгиевич  $c кандидат технических наук  $f род. 1941 
701 # 1 $3 BY-SEK-145893  $a Колосницын  $b Б. С.  $g Борис Сергеевич  $c кандидат технических наук 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar2638592  $a Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники  $c Минск  $b Кафедра микро- и наноэлектроники  $4 475 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20140515  $g RCR