Линейные измерения микрометрового и нанометрового диапазонов в микроэлектронике и нанотехнологии: [сборник статей] / ответственный редактор Ю. А. Новиков
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Москва : Наука , 2006 |
| Физические характеристики: |
142, [5] с. : ил. ; 24 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Труды Института общей физики им. А. М. Прохорова
т. 62 |
Загрузка