|
|
|
|
|
00000cam2a22000003ij4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001062570 |
| 005 |
20140507093746.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20140507d2006 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
$d eng
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a ||||000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Линейные измерения микрометрового и нанометрового диапазонов в микроэлектронике и нанотехнологии
$e [сборник статей]
$f ответственный редактор Ю. А. Новиков
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c Наука
$d 2006
|
| 215 |
# |
# |
$a 142, [5] с.
$c ил.
$d 24 см
|
| 225 |
2 |
# |
$a Труды Института общей физики им. А. М. Прохорова
$f Российская академия наук
$x 0233-9390
$v т. 62
|
| 300 |
# |
# |
$a Резюме статей на английском
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография в конце статей
|
| 461 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br133088
$1 2001
$v Т. 62
|
| 512 |
1 |
# |
$a Труды ИОФАН
$z rus
|
| 702 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-236549
$a Новиков
$b Ю. А.
$4 340
|
| 711 |
0 |
2 |
$3 BY-SEK-ar7236186
$a Институт общей физики имени А. М. Прохорова
$c Москва
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20140507
$g psbo
|
