|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001059045 |
| 005 |
20140605101345.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20140423d2013 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Лазерные литографические системы и технологии синтеза рельефно-фазовых оптических элементов
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук
$e специальность 01.04.05 Оптика
$f Корольков Виктор Павлович
$g [Институт автоматики и процессов и электрометрии Сибирского отделения Российской академии наук]
|
| 210 |
# |
# |
$a Новосибирск
$d 2013
|
| 215 |
# |
# |
$a 44 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 35—44
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar85256
$a ФОТОЛИТОГРАФИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar30362
$a СКАНИРОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar62091
$a ЛАЗЕРНЫЕ ОПТИЧЕСКИЕ ЭЛЕМЕНТЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar85262
$a ФОТОШАБЛОНЫ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 01.04.05
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.31
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.33.51
$2 rugasnti
$v 6
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-483230
$a Корольков
$b В. П.
$g Виктор Павлович
$c доктор технических наук
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20140423
$g psbo
|
