Полупроводниковые нанокомпозиты на основе кремния и силицидов: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук: специальность 01.04.10 Физика полупроводников / Горошко Дмитрий Львович

Сохранено в:
Шифр документа: 2//171471(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Горошко, Д. Л.
Опубликовано: Владивосток , 2014
Физические характеристики: 31 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001053714
005 20140425110233.0
100 # # $a 20140409d2014 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Полупроводниковые нанокомпозиты на основе кремния и силицидов  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук  $e специальность 01.04.10 Физика полупроводников  $f Горошко Дмитрий Львович  $g [Институт автоматики и процессов управления Дальневосточного отделения Российской академии наук] 
210 # # $a Владивосток  $d 2014 
215 # # $a 31 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 28—31 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2749267  $a ФИЗИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2299426  $a НАНОКОМПОЗИТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar30000  $a СИЛИЦИДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39620  $a ЭПИТАКСИАЛЬНЫЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12158  $a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1658634  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23677  $a ПЛАНАРНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ  $2 DVNLB 
686 # # $a 01.04.10  $2 oksvnk 
686 # # $a 29.19.31  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 29.19.22  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 53.41.31  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 47.09.29  $2 rugasnti  $v 6 
700 # 1 $3 BY-SEK-508836  $a Горошко  $b Д. Л.  $g Дмитрий Львович  $c кандидат физико-математических наук 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20140409  $g psbo