Физические и технологические основы получения систем эпитаксиальных нитевидных кристаллов кремния: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния / Завалишин Максим Алексеевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2//171091(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Завалишин, М. А.
Опубликовано: Курск , 2014
Физические характеристики: 20 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001050683
005 20221114151400.0
100 # # $a 20140331d2014 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Физические и технологические основы получения систем эпитаксиальных нитевидных кристаллов кремния  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния  $f Завалишин Максим Алексеевич  $g [Воронежский государственный технический университет] 
210 # # $a Курск  $d 2014 
215 # # $a 20 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 18—20 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3130678  $a ФИЗИКА КОНДЕНСИРОВАННЫХ СРЕД  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2723877  $a НИТЕВИДНЫЕ КРИСТАЛЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24610  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ КРИСТАЛЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2685025  $a ЭПИТАКСИАЛЬНОЕ НАРАЩИВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar57734  $a ОХЛАЖДАЮЩИЕ УСТРОЙСТВА  $2 DVNLB 
686 # # $a 29.19.03  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.31  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.22  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.09.29  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.07  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 01.04.07  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar7314534  $a Завалишин  $b М. А.  $g Максим Алексеевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20140331  $g RCR