Прецезионная литография для производства сверхбольших интегральных микросхем / Л. А. Наумова, Т. А. Чернова
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Наумова, Л. А. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИТЭИприборостроения , 1979 |
| Физические характеристики: |
12, [1] с., включая обложку : табл. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Приборы, средства автоматизации и системы управления
вып. 6-1979 |
Загрузка