|
|
|
|
|
00000cam2a22000003is4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001045597 |
| 005 |
20140314164527.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20140314d1979 |||y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a SU
|
| 105 |
# |
# |
$a a ||||000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Прецезионная литография для производства сверхбольших интегральных микросхем
$f Л. А. Наумова, Т. А. Чернова
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c ЦНИИТЭИприборостроения
$d 1979
|
| 215 |
# |
# |
$a 12, [1] с., включая обложку
$c табл.
$d 21 см
|
| 225 |
1 |
# |
$a Приборы, средства автоматизации и системы управления
$e экспресс-информация
$h ТС-9
$i Экономика и технология приборостроения
$f Всесоюзный научно-исследовательский институт информации и экономики
$x 0203-2465
$v вып. 6-1979
|
| 461 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br61448
$1 2001
$v № 6
|
| 700 |
# |
1 |
$a Наумова
$b Л. А.
|
| 701 |
# |
1 |
$a Чернова
$b Т. А.
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20130802
$g psbo
|
