Получение текстурированных пленок кремния на металлических подложках с оксидными буферными слоями методом химического осаждения из газовой фазы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук: специальность 02.00.21 Химия твердого тела / Мойзых Михаил Евгеньевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2//169222(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Мойзых, М. Е.
Опубликовано: Москва , 2013
Физические характеристики: 24 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001037165
005 20140413122259.0
100 # # $a 20140221d2013 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Получение текстурированных пленок кремния на металлических подложках с оксидными буферными слоями методом химического осаждения из газовой фазы  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук  $e специальность 02.00.21 Химия твердого тела  $f Мойзых Михаил Евгеньевич  $g [Московский государственный университет им. М. В. Ломоносова] 
210 # # $a Москва  $d 2013 
215 # # $a 24 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 22—24, библиография в подстрочных примечаниях 
606 0 # $3 BY-NLB-ar22114  $a ОСАЖДЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23808  $a ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar83769  $a ГАЗОФАЗНОЕ ОСАЖДЕНИЕ  $2 DVNLB 
686 # # $a 02.00.21  $2 oksvnk 
686 # # $a 31.15.19  $2 rugasnti  $v 6 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar7140748  $a Мойзых  $b М. Е.  $g Михаил Евгеньевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20140221  $g psbo