|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
001 |
BY-NLB-br0001037165 |
005 |
20140413122259.0 |
100 |
# |
# |
$a 20140221d2013 k y0rusy50 ca
|
101 |
0 |
# |
$a rus
|
102 |
# |
# |
$a RU
|
105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
200 |
1 |
# |
$a Получение текстурированных пленок кремния на металлических подложках с оксидными буферными слоями методом химического осаждения из газовой фазы
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук
$e специальность 02.00.21 Химия твердого тела
$f Мойзых Михаил Евгеньевич
$g [Московский государственный университет им. М. В. Ломоносова]
|
210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2013
|
215 |
# |
# |
$a 24 с.
$c ил.
|
320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 22—24, библиография в подстрочных примечаниях
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar22114
$a ОСАЖДЕНИЕ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23808
$a ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15096
$a КРЕМНИЙ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar83769
$a ГАЗОФАЗНОЕ ОСАЖДЕНИЕ
$2 DVNLB
|
686 |
# |
# |
$a 02.00.21
$2 oksvnk
|
686 |
# |
# |
$a 31.15.19
$2 rugasnti
$v 6
|
700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar7140748
$a Мойзых
$b М. Е.
$g Михаил Евгеньевич
|
801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20140221
$g psbo
|