Полевой датчик холла на основе структур "кремний на изоляторе": автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Леонов Алексей Владимирович

Сохранено в:
Шифр документа: 2//168939(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Леонов, А. В.
Опубликовано: Черноголовка , 2013
Физические характеристики: 26 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001036186
005 20140406140031.0
100 # # $a 20140219d2013 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Полевой датчик холла на основе структур "кремний на изоляторе"  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах  $f Леонов Алексей Владимирович  $g [Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук] 
210 # # $a Черноголовка  $d 2013 
215 # # $a 26 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 24—26 (25 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar83377  $a КРЕМНИЙ НА ИЗОЛЯТОРЕ-ТЕХНОЛОГИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar37009  $a ХОЛЛА ДАТЧИК  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1657703  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
686 # # $a 05.27.01  $2 oksvnk 
686 # # $a 29.19.31  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 47.03.05  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 47.09.29  $2 rugasnti  $v 6 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar7126506  $a Леонов  $b А. В.  $g Алексей Владимирович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20140219  $g psbo