Плазменно и термически стимулированное осаждение алмазных пленок: многомерные модели химических реакторов: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук: специальность 01.04.08 Физика плазмы / Манкелевич Юрий Александрович

Сохранено в:
Шифр документа: 2//168299(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Манкелевич, Ю. А.
Опубликовано: Москва , 2013
Физические характеристики: 30, [1] с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001033253
005 20140317163757.0
100 # # $a 20140212d2013 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Плазменно и термически стимулированное осаждение алмазных пленок: многомерные модели химических реакторов  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук  $e специальность 01.04.08 Физика плазмы  $f Манкелевич Юрий Александрович  $g [Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д. В. Скобельницына Московского государственного университета им. М. В. Ломоносова] 
210 # # $a Москва  $d 2013 
215 # # $a 30, [1] с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 27—31 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35847  $a ФИЗИКА ПЛАЗМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar64787  $a АЛМАЗНЫЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1607655  $a ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar83769  $a ГАЗОФАЗНОЕ ОСАЖДЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33564  $a ТЕРМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34993  $a УГЛЕВОДОРОДНЫЕ ГАЗЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar36841  $a ХИМИЧЕСКИЕ РЕАКТОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2113377  $a МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
610 0 # $a горячая нить 
610 0 # $a гарачая ніць 
686 # # $a 29.27.51  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 29.27.43  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 29.19.16  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 29.27.47  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 31.15.30  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 31.01.77  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 01.04.08  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar7093145  $a Манкелевич  $b Ю. А.  $g Юрий Александрович  $c кандидат физико-математических наук 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20140212  $g psbo