Современное состояние и тенденции развития тонкопленочной технологии / В. Д. Гимпельсон, Л. А. Наумова
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Гимпельсон, В. Д. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИТЭИприборостроения , 1979 |
| Физические характеристики: |
47, [2] с., включая обложку : табл. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Приборы, средства автоматизации и системы управления
вып. 6-1979 |
Загрузка