Современное состояние и тенденции развития тонкопленочной технологии / В. Д. Гимпельсон, Л. А. Наумова

Сохранено в:
Вид документа: Периодические издания
Автор: Гимпельсон, В. Д.
Опубликовано: Москва : ЦНИИТЭИприборостроения , 1979
Физические характеристики: 47, [2] с., включая обложку : табл. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Приборы, средства автоматизации и системы управления вып. 6-1979
Загрузка