Современное состояние и тенденции развития тонкопленочной технологии / В. Д. Гимпельсон, Л. А. Наумова

Сохранено в:
Вид документа: Периодические издания
Автор: Гимпельсон, В. Д.
Опубликовано: Москва : ЦНИИТЭИприборостроения , 1979
Физические характеристики: 47, [2] с., включая обложку : табл. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Приборы, средства автоматизации и системы управления вып. 6-1979
00000cam2a22000003is4500
001 BY-NLB-br0001029402
005 20140203132549.0
100 # # $a 20140203d1979 |||y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a SU 
105 # # $a a ||||000yy 
200 1 # $a Современное состояние и тенденции развития тонкопленочной технологии  $f В. Д. Гимпельсон, Л. А. Наумова 
210 # # $a Москва  $c ЦНИИТЭИприборостроения  $d 1979 
215 # # $a 47, [2] с., включая обложку  $c табл.  $d 21 см 
225 1 # $a Приборы, средства автоматизации и системы управления  $e обзорная информация  $h ТС-9  $i Экономика и технология приборостроения  $f Всесоюзный научно-исследовательский институт информации и экономики  $x 0203-2546  $v вып. 6-1979 
320 # # $a Библиография в конце статей 
461 # 1 $1 001BY-NLB-br61453  $1 2001   $v № 6 
700 # 1 $a Гимпельсон  $b В. Д. 
701 # 1 $a Наумова  $b Л. А. 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20130802  $g psbo