Механизмы влияния ионной имплантации кремния, германия и фтора на свойства композиции SiO2/Si при воздействии ионизирующего излучения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния / Гуськова Ольга Павловна
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Гуськова, О. П. |
| Опубликовано: | Нижний Новгород , 2013 |
| Физические характеристики: |
17, [1] с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||