Механизмы влияния ионной имплантации кремния, германия и фтора на свойства композиции SiO2/Si при воздействии ионизирующего излучения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния / Гуськова Ольга Павловна

Сохранено в:
Шифр документа: 2//167193(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Гуськова, О. П.
Опубликовано: Нижний Новгород , 2013
Физические характеристики: 17, [1] с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001029154
005 20140226151623.0
100 # # $a 20140203d2013 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Механизмы влияния ионной имплантации кремния, германия и фтора на свойства композиции SiO2/Si при воздействии ионизирующего излучения  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния  $f Гуськова Ольга Павловна  $g [Нижегородский государственный технический университет им. Р. Е. Алексеева] 
210 # # $a Нижний Новгород  $d 2013 
215 # # $a 17, [1] с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 15—18 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3130678  $a ФИЗИКА КОНДЕНСИРОВАННЫХ СРЕД  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15100  $a ДИОКСИД КРЕМНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12158  $a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar7308  $a ГЕРМАНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar10310  $a ЖЕЛЕЗО  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar83377  $a КРЕМНИЙ НА ИЗОЛЯТОРЕ-ТЕХНОЛОГИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar55300  $a МДП-СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar87382  $a ДЕФЕКТЫ В КРИСТАЛЛАХ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar26837  $a ИОНИЗИРУЮЩИЕ ИЗЛУЧЕНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar26875  $a РАДИАЦИОННАЯ СТОЙКОСТЬ  $2 DVNLB 
686 # # $a 29.19.03  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 29.19.11  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 29.19.25  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 01.04.07  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar7030966  $a Гуськова  $b О. П.  $g Ольга Павловна 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20140203  $g psbo