|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001026402 |
| 005 |
20140330145854.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20140127d2013 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Синтез тонких микро- и нанокристаллических алмазных пленок в СВЧ плазме
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
$e специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния
$f Седов Вадим Станиславович
$g [Институт общей физики им. А. М. Прохорова Российской академии наук]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2013
|
| 215 |
# |
# |
$a 29 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 25—29
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3130678
$a ФИЗИКА КОНДЕНСИРОВАННЫХ СРЕД
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar35847
$a ФИЗИКА ПЛАЗМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar64787
$a АЛМАЗНЫЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2862840
$a НАНОПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1607655
$a ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4814139
$a ПОЛИМЕРНЫЕ ПОДЛОЖКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1715174
$a СВЧ ПЛАЗМА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15827
$a ЛЕГИРОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15096
$a КРЕМНИЙ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.03
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.16
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.22
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.27.51
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 01.04.07
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar6996845
$a Седов
$b В. С.
$g Вадим Станиславович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20140127
$g psbo
|
