Базовые технологические процессы изготовления полупроводниковых приборов и интегральных микросхем на кремнии : [монография] : в 3 т. / [О. Ю. Наливайко и др.]. Т. 3

Сохранено в:
Шифр документа: 1Н//439264(039), 1Н//439265(039),
Вид документа: Книги
Физические характеристики: 782, [1] с. : ил., цв. ил., табл.
Язык: Русский
Предмет:
СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
УЛЬТРАБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
ТОПОГРАФИЯ ПОВЕРХНОСТИ (техн.)
ХИМИКО-МЕХАНИЧЕСКОЕ ПОЛИРОВАНИЕ
СИЛИЦИДЫ
СЕГНЕТОЭЛЕКТРИКИ
ИСПОЛЬЗОВАНИЕ
МЕТАЛЛИЗАЦИЯ
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
ОПТИМИЗАЦИЯ ПРОИЗВОДСТВЕННЫХ ПРОЦЕССОВ
МОДЕЛИРОВАНИЕ
ФИЗИЧЕСКИЕ МОДЕЛИ
КОРПУСИРОВАНИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ
СБОРОЧНО-МОНТАЖНЫЕ РАБОТЫ
КОНТРОЛЬ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ
ОБЕСПЕЧЕНИЕ КАЧЕСТВА
ПОВЫШЕНИЕ НАДЕЖНОСТИ
00000cam2a2200000 ib4500
001 BY-NLB-br0001021170
005 20220412161325.0
010 # # $a 978-985-6845-46-1 
100 # # $a 20140113d2013 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a z 000yy 
109 # # $a aa 
200 0 # $a Т. 3 
215 # # $a 782, [1] с.  $c ил., цв. ил., табл. 
320 # # $a Библиография в конце глав 
345 # # $9 500 экз. 
461 # 0 $1 001BY-NLB-br0001021167  $1 2000   $v Т. 3 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2121092  $a СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2120089  $a УЛЬТРАБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1957481  $a ТОПОГРАФИЯ ПОВЕРХНОСТИ (техн.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4760361  $a ХИМИКО-МЕХАНИЧЕСКОЕ ПОЛИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar30000  $a СИЛИЦИДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar29520  $a СЕГНЕТОЭЛЕКТРИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2743697  $a ИСПОЛЬЗОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar17958  $a МЕТАЛЛИЗАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33874  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3269057  $a ОПТИМИЗАЦИЯ ПРОИЗВОДСТВЕННЫХ ПРОЦЕССОВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18658  $a МОДЕЛИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35945  $a ФИЗИЧЕСКИЕ МОДЕЛИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar58462  $a КОРПУСИРОВАНИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar29176  $a СБОРОЧНО-МОНТАЖНЫЕ РАБОТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar65279  $a КОНТРОЛЬ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar70227  $a ОБЕСПЕЧЕНИЕ КАЧЕСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3175535  $a ПОВЫШЕНИЕ НАДЕЖНОСТИ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.77-027.3  $v 4  $z rus 
675 # # $a 621.793/.795  $v 4  $z rus 
675 # # $a 621.382.049.77.019.3  $v 4  $z rus 
686 # # $a 47.13.11  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.01.81  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.22  $v 6  $2 rugasnti 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20140113  $g RCR 

Схожие документы