Базовые технологические процессы изготовления полупроводниковых приборов и интегральных микросхем на кремнии : [монография] : в 3 т. / [О. Ю. Наливайко и др.]. Т. 1

Сохранено в:
Шифр документа: 1Н//439262(039), 1Н//439263(039),
Вид документа: Книги
Физические характеристики: 688 с. : ил., цв. ил., табл.
Язык: Русский
Предмет:
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
ЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ
МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ
МОНОКРИСТАЛЛЫ
ВЫРАЩИВАНИЕ МОНОКРИСТАЛЛОВ
КРЕМНИЕВЫЕ ПЛАСТИНЫ
ТЕХНОЛОГИЯ МАТЕРИАЛОВ
МЕХАНИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА
ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА
ГЕТТЕРИРОВАНИЕ
ЭПИТАКСИЯ (физ.)
КРЕМНИЙ НА ИЗОЛЯТОРЕ-ТЕХНОЛОГИЯ
ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ
ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
00000cam2a2200000 ib4500
001 BY-NLB-br0001021169
005 20140219120022.0
010 # # $a 978-985-6845-44-7 
100 # # $a 20140113d2013 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a z 000yy 
109 # # $a aa 
200 0 # $a Т. 1 
215 # # $a 688 с.  $c ил., цв. ил., табл. 
320 # # $a Библиография в конце глав 
345 # # $9 500 экз. 
461 # 0 $1 001BY-NLB-br0001021167  $1 2000   $v Т. 1 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24592  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar17342  $a ЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3341921  $a МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18851  $a МОНОКРИСТАЛЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar42268  $a ВЫРАЩИВАНИЕ МОНОКРИСТАЛЛОВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2381802  $a КРЕМНИЕВЫЕ ПЛАСТИНЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33920  $a ТЕХНОЛОГИЯ МАТЕРИАЛОВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18168  $a МЕХАНИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar55425  $a ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar58309  $a ГЕТТЕРИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39622  $a ЭПИТАКСИЯ (физ.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar83377  $a КРЕМНИЙ НА ИЗОЛЯТОРЕ-ТЕХНОЛОГИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2493283  $a ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34171  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33874  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.2/.3-027.3  $v 4  $z rus 
675 # # $a 621.382.049.77-027.3  $v 4  $z rus 
675 # # $a 548.55  $v 4  $z rus 
675 # # $a 621.315.592:546.28:621.793/.795  $v 4  $z rus 
686 # # $a 47.13.11  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 47.09.29  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 31.15.17  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 55.22  $2 rugasnti  $v 6 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20140113  $g psbo 

Схожие документы