
Разработка и исследование технологических основ формирования наноструктур на основе арсенала галлия методом молекулярно-лучевой эпитаксии для элементов микро-и наноэлектроники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Солодовник Максим Сергеевич
Saved in:
Format: | |
---|---|
Main Author: | Солодовник, М. С. |
Published: | Таганрог , 2013 |
Physical Description: |
19 с. : ил.
|
Language: | Russian |
Subjects: |
ОФХ отдела книгохранения
All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|