Технология изготовления диэлектрических мембранных конструкций для формирования чувствительных элементов датчиков концентрации газа: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Веселов Денис Сергеевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2//159748(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Веселов, Д. С.
Опубликовано: Москва , 2013
Физические характеристики: 26 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000988872
005 20131114163549.0
100 # # $a 20131007d2013 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Технология изготовления диэлектрических мембранных конструкций для формирования чувствительных элементов датчиков концентрации газа  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах  $f Веселов Денис Сергеевич  $g [Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ" (НИЯУ МИФИ)] 
210 # # $a Москва  $d 2013 
215 # # $a 26 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 25—26 (14 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2496476  $a ГАЗОВЫЕ СЕНСОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11345  $a ДАТЧИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2420611  $a ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar17860  $a МЕМБРАНЫ (техн.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar9579  $a ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar54641  $a МЕТРОЛОГИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ  $2 DVNLB 
686 # # $a 50.09.37  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 59.33.29  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 59.33.71  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 59.03.05  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 05.27.01  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-NLB-ar6667296  $a Веселов  $b Д. С.  $g Денис Сергеевич  $c кандидат технических наук 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20131007  $g psbo