|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
001 |
BY-NLB-br0000988872 |
005 |
20131114163549.0 |
100 |
# |
# |
$a 20131007d2013 k y0rusy50 ca
|
101 |
0 |
# |
$a rus
|
102 |
# |
# |
$a RU
|
105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
200 |
1 |
# |
$a Технология изготовления диэлектрических мембранных конструкций для формирования чувствительных элементов датчиков концентрации газа
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
$f Веселов Денис Сергеевич
$g [Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ" (НИЯУ МИФИ)]
|
210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2013
|
215 |
# |
# |
$a 26 с.
$c ил.
|
320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 25—26 (14 назв.)
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2496476
$a ГАЗОВЫЕ СЕНСОРЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11345
$a ДАТЧИКИ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2420611
$a ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar17860
$a МЕМБРАНЫ (техн.)
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar9579
$a ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33870
$a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar54641
$a МЕТРОЛОГИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ
$2 DVNLB
|
686 |
# |
# |
$a 50.09.37
$2 rugasnti
$v 6
|
686 |
# |
# |
$a 59.33.29
$2 rugasnti
$v 6
|
686 |
# |
# |
$a 59.33.71
$2 rugasnti
$v 6
|
686 |
# |
# |
$a 59.03.05
$2 rugasnti
$v 6
|
686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 oksvnk
|
700 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar6667296
$a Веселов
$b Д. С.
$g Денис Сергеевич
$c кандидат технических наук
|
801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20131007
$g psbo
|