Полупроводниковые микроэлектромеханические системы датчиков давления с улучшенными техническими характеристиками: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.13.05 Элементы и устройства вычислительной техники и систем управления / Москалев Сергей Александрович

Сохранено в:
Шифр документа: 2//156285(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Москалев, С. А.
Опубликовано: Пенза , 2013
Физические характеристики: 22, [1] с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000959050
005 20130814163555.0
100 # # $a 20130621d2013 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Полупроводниковые микроэлектромеханические системы датчиков давления с улучшенными техническими характеристиками  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.13.05 Элементы и устройства вычислительной техники и систем управления  $f Москалев Сергей Александрович  $g [Пензенский государственный университет] 
210 # # $a Пенза  $d 2013 
215 # # $a 22, [1] с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 21—23 (22 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24616  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ДАТЧИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2290523  $a ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33796  $a ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ  $2 DVNLB 
686 # # $a 05.13.05  $2 oksvnk 
686 # # $a 50.09.37  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 59.37.33  $2 rugasnti  $v 6 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar6332005  $a Москалев  $b С. А.  $g Сергей Александрович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20130621  $g psbo