|
|
|
|
|
00000cbm0a2200000 id4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000950713 |
| 005 |
20220412162708.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20130531h20122012k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a BY
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ab
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Информационно-параметрические методы совершенствования технологии производства субмикронных интегральных микросхем с применением тестовых структур
$e диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
$f Емельянов Антон Викторович
$g научные руководители : А. П. Достанко и А. И. Белоус
$g Учреждение образования Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
|
| 210 |
# |
# |
$a Минск
$d 2012
|
| 215 |
# |
# |
$a 155 л.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: л. 139—150
|
| 328 |
# |
# |
$d Защищена 27.12.2012, защищена 10.04.2013
|
| 488 |
# |
0 |
$1 001BY-NLB-br0000876709
|
| 601 |
0 |
2 |
$3 BY-RLST-ar139098
$a "Интеграл"
$g научно-производственное объединение
$c Минск
$b Филиал "Транзистор"
$2 BY-auth
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1611433
$a СУБМИКРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3353229
$a МДП-ТЕХНОЛОГИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2246902
$a КРЕМНИЕВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar29863
$a СЕРИЙНОЕ ПРОИЗВОДСТВО
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24596
$a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar64055
$a МОП-СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar55300
$a МДП-СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4532859
$a ТЕСТОВЫЕ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar14542
$a КОНТРОЛЬ КАЧЕСТВА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar65279
$a КОНТРОЛЬ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar20472
$a НЕРАЗРУШАЮЩИЙ КОНТРОЛЬ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1577
$a АВТОМАТИЗИРОВАННЫЕ СИСТЕМЫ КОНТРОЛЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2731780
$a АВТОМАТИЗИРОВАННЫЕ СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
$2 DVNLB
|
| 607 |
# |
# |
$3 BY-NLB-ar77427
$a Беларусь, Республика
$2 BY-auth
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
| 660 |
# |
# |
$a e-bw
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.774.2-027.3:658.562.44/.47-027.43(043.3)
$v 4
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 nsnrrb
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.81
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 50.43
$v 6
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-677116
$a Емельянов
$b А. В.
$g Антон Викторович
|
| 702 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2495390
$a Достанко
$b А. П.
$g Анатолий Павлович
$c доктор технических наук
$f 1937—2024
$4 727
|
| 702 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-182012
$a Белоус
$b А. И.
$g Анатолий Иванович
$c доктор технических наук
$f род. 1951
$4 727
|
| 712 |
0 |
2 |
$3 BY-NLB-ar186905
$a Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
$c Минск
$4 995
$4 595
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20121123
$g psbo
|
| 856 |
4 |
# |
$u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br0000950713&fileID=9380585
|
