Разработка технологических основ получения эпитаксиальных слоев нитрида галлия методом хлоридно-гидридной эпитаксии на подложках сапфира: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.17.01 Технология неорганических веществ / Донсков Александр Андреевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Донсков, А. А. |
| Опубликовано: | Москва , 2012 |
| Физические характеристики: |
24 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||