Проектирование и системы автоматизированного проектирования интегральных микросхем, микроэлектроника и микросхемотехника : учебно-методический комплекс для студентов специальностей 1-39 02 01 "Моделирование и компьютерное проектирование радиоэлектронных средств", 1-36 04 02 "Промышленная электроника" : в 2 ч. / Д. А. Довгяло. Ч. 1 : Технология микроэлектронных устройств