|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000884144 |
| 005 |
20130313112424.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20121210d2012 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Исследование физико-химических процессов и создание основ технологии химико-механического полирования материалов
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук
$e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$f Артемов Александр Серафимович
$g [Институт общей физики им. А. М. Прохорова Российской академии наук]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2012
|
| 215 |
# |
# |
$a 45 с.
$c ил., табл.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 40—45 (75 назв.)
|
| 333 |
# |
# |
$a Для служебного пользования
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24383
$a ПОЛИРОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4760361
$a ХИМИКО-МЕХАНИЧЕСКОЕ ПОЛИРОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar35865
$a ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3364070
$a ОБРАБОТКА МАТЕРИАЛОВ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24594
$a ПОЛУПРОВОДНИКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar9575
$a ДИЭЛЕКТРИКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18028
$a МЕТАЛЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39182
$a ЭЛЕКТРОННОЕ ПРИБОРОСТРОЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39074
$a ЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2289608
$a НАНОМАТЕРИАЛЫ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.31
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.29
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.31
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.37
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.48
$2 rugasnti
$v 6
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar5521285
$a Артемов
$b А. С.
$g Александр Серафимович
$c кандидат физико-математических наук
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20121210
$g psbo
|
