Introduction to Microlithography
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Thompson, L. |
| Опубликовано: | Washington , 1994 |
| Физические характеристики: |
527 p.
|
| Язык: | Английский |
| 00000nam0a22000003ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-br0000879943 | ||
| 005 | 20121129162153.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20121129d|||| |||||bel|50 ba |
| 101 | 0 | # | $a eng |
| 200 | 1 | # | $a Introduction to Microlithography |
| 210 | # | # | $a Washington $d 1994 |
| 215 | # | # | $a 527 p. |
| 675 | # | # | $a 6 $v 4 |
| 700 | # | 1 | $a Thompson $b L. |
| 801 | # | 0 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20121129 $g psbo |