Формирование слоев силицидов титана методом быстрой термической обработки системы TiN / Ti / Si в технологии интегральных микросхем: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния / Колос Владимир Владимирович

Сохранено в:
Шифр документа: 2Н//141379(039), 2Н//141518(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Колос, В. В.
Опубликовано: Минск , 2012
Физические характеристики: 23 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
СУБМИКРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
КРЕМНИЕВЫЕ ПЛАСТИНЫ
МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ
ВАКУУМНО-ТЕРМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА
ТЕРМИЧЕСКОЕ НАПЫЛЕНИЕ
МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ
СИЛИЦИДЫ ТИТАНА
ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ
ЛЕГИРУЮЩИЕ ЭЛЕМЕНТЫ
ПОВЕРХНОСТНАЯ ДИФФУЗИЯ
ТВЕРДОФАЗНЫЕ РЕАКЦИИ
ФАЗОВЫЕ ПЕРЕХОДЫ
СПЕКТРОСКОПИЧЕСКИЕ ИССЛЕДОВАНИЯ
ЭЛЕКТРОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ
РАСТРОВАЯ МИКРОСКОПИЯ
ЭЛЕКТРОННАЯ ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИЯ
ЭЛЕКТРОНОГРАФИЯ
ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
Е-документ: E-документ
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000827319
005 20220507142340.0
100 # # $a 20120803d2012 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus  $d eng  $d rus  $d bel 
102 # # $a BY 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Формирование слоев силицидов титана методом быстрой термической обработки системы TiN / Ti / Si в технологии интегральных микросхем  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния  $f Колос Владимир Владимирович  $g Белорусский государственный университет 
210 # # $a Минск  $d 2012 
215 # # $a 23 с.  $c ил. 
300 # # $a Резюме на белорусском, русском и английском языках 
311 # # $a В фонде НББ имеется диссертация 
320 # # $a Библиография: с. 16—20 (29 назв.) 
488 # 0 $1 001BY-NLB-br0000899940 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1611433  $a СУБМИКРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2381802  $a КРЕМНИЕВЫЕ ПЛАСТИНЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3341921  $a МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar5226175  $a ВАКУУМНО-ТЕРМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar82848  $a ТЕРМИЧЕСКОЕ НАПЫЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4777100  $a МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar5245672  $a СИЛИЦИДЫ ТИТАНА   $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34175  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1864334  $a ЛЕГИРУЮЩИЕ ЭЛЕМЕНТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3367523  $a ПОВЕРХНОСТНАЯ ДИФФУЗИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2423382  $a ТВЕРДОФАЗНЫЕ РЕАКЦИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35611  $a ФАЗОВЫЕ ПЕРЕХОДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1787604  $a СПЕКТРОСКОПИЧЕСКИЕ ИССЛЕДОВАНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39094  $a ЭЛЕКТРОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar27533  $a РАСТРОВАЯ МИКРОСКОПИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar56685  $a ЭЛЕКТРОННАЯ ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39128  $a ЭЛЕКТРОНОГРАФИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.77-027.3:621.793.74:661.882'065(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 01.04.07  $2 nsnrrb 
686 # # $a 47.13.11  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.33  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.16  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.31.26  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.35.43  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-NLB-ar5323796  $a Колос  $b В. В.  $g Владимир Владимирович  $c кандидат физико-математических наук 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar167094  $a Белорусский государственный университет  $c Минск  $4 995 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20120803  $g psbo 
830 # # $a 28.09.2012 
856 4 # $u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br0000827319&fileID=9248875 

Схожие документы