|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000812757 |
| 005 |
20121015145112.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20120618d2012 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Управление рельефом поверхности самоупорядоченных глобулярных микроструктур для изделий электронной техники
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$f Моисеев Константин Михайлович
$g [Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2012
|
| 215 |
# |
# |
$a 16 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 15—16 (11 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18370
$a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18306
$a МИКРОСТРУКТУРЫ (физ.)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4290011
$a ОПАЛОВЫЕ МАТРИЦЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1587630
$a РЕЛЬЕФ ПОВЕРХНОСТИ (техн.)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-SEK-ar1638614
$a МОДИФИЦИРОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТЕЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4914454
$a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ПОКРЫТИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar19558
$a НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34171
$a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4777100
$a МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2451365
$a ИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33914
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕЖИМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar17280
$a МАТЕМАТИЧЕСКИЕ МОДЕЛИ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.33
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.01.77
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar4892504
$a Моисеев
$b К. М.
$g Константин Михайлович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20120618
$g psbo
|
