|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000811504 |
| 005 |
20121008104921.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20120614d2012 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Разработка и исследование устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием и минимальным дестабилизирующим воздействием на вакуумную среду оборудования высоких технологий
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$f Кузнецов Павел Сергеевич
$g [Московский государственный институт электроники и математики (технический университет)]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2012
|
| 215 |
# |
# |
$a 26 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 22—26 (35 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar27159
$a РАДИОЭЛЕКТРОННАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33890
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2669212
$a ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar14454
$a КОНСТРУКТИВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11764
$a ИНЖЕНЕРНЫЕ РАСЧЕТЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2519494
$a ПРОЕКТИРОВАНИЕ С ПРИМЕНЕНИЕМ МОДЕЛЕЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar17280
$a МАТЕМАТИЧЕСКИЕ МОДЕЛИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33808
$a ТЕХНИЧЕСКИЕ РЕШЕНИЯ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.01.77
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 81.29.31
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 81.29.14
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-901065
$a Кузнецов
$b П. С.
$g Павел Сергеевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20120614
$g psbo
|
