|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000808529 |
| 005 |
20121006140715.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20120608d2012 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Разработка оборудования для экспресс-анализа концентраций примесей в полупроводниковых материалах методом статической фурье-спектроскопии
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$f Белаш Александр Олегович
$g [Санкт-Петербургский государственный университет]
|
| 210 |
# |
# |
$a Санкт-Петербург
$d 2012
|
| 215 |
# |
# |
$a 19 с.
$c ил.
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24588
$a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar36797
$a ХИМИЧЕСКИЙ СОСТАВ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar25538
$a ПРИМЕСИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar31473
$a СПЕКТРОМЕТРИЧЕСКИЕ ИЗМЕРЕНИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1880980
$a ФУРЬЕ-СПЕКТРОСКОПИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar36659
$a ФУРЬЕ-СПЕКТРОМЕТРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11764
$a ИНЖЕНЕРНЫЕ РАСЧЕТЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar25811
$a ПРОЕКТИРОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2739
$a АППАРАТНО-ПРОГРАММНЫЕ КОМПЛЕКСЫ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 90.27.31
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.31.26
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 59.35.33
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 59.41
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 59.14.23
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 50.41.25
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar5238549
$a Белаш
$b А. О.
$g Александр Олегович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20120608
$g psbo
|
